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            桌面微型紫外光刻機

            簡(jiǎn)要描述:桌面微型紫外光刻機,專(zhuān)為微米級圖案制作而設計,旨在保障圖形轉移精度,其緊湊的體積將移形換影置于桌面之上,為操作提供了便利與精準。

            • 產(chǎn)品型號:GK100
            • 廠(chǎng)商性質(zhì):代理商
            • 更新時(shí)間:2024-06-13
            • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:116

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            詳細介紹

             桌面微型紫外光刻機

            1. 產(chǎn)品介紹
              桌面微型紫外光刻機,專(zhuān)為微米級圖案制作而設計,旨在保障圖形轉移精度。設備采用紫外LED冷光源,結合雙非球面石英透鏡,可生成半角<2°的平行光,相較傳統接觸式曝光機,其緊湊的體積將移形換影置于桌面之上,為操作提供了便利與精準。
              該光刻機廣泛適用于微流控芯片、MEMS器件、光電子器件以及聲表面波器件等制備領(lǐng)域。其性能尤其適合高校、科研院所以及企業(yè)展開(kāi)微細加工工藝研究。緊隨現代技術(shù)的步伐,桌面微型光刻機的問(wèn)世為微納加工注入了新的活力,助力客戶(hù)在項目目標的實(shí)現過(guò)程中邁向更高精度、更具創(chuàng )新性的階段。

            2. 技術(shù)參數

              曝光光源:紫外LED;

                    光源波長(cháng):365nm;

                    曝光面積:4英寸、6英寸可選;

                    曝光方式:單面接觸式定時(shí)曝光;

                    曝光分辨率:2um;

                    曝光強度:30~120mW/cm2可調;

                    曝光不均勻性:<5%;

                    光源平行性:≤2°

                    光源壽命:>20000h;

                    電源輸入:AC220V+10V,50HZ

                

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