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            咨詢(xún)熱線(xiàn)

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            TC-Wafer校準儀

            簡(jiǎn)要描述:TC-Wafer校準儀是一款專(zhuān)注晶圓溫場(chǎng)均勻性測量的儀器,適配市場(chǎng)上大多數主流廠(chǎng)家生產(chǎn)的RTP設備。

            • 產(chǎn)品型號:TC-20
            • 廠(chǎng)商性質(zhì):代理商
            • 更新時(shí)間:2024-05-31
            • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:153

            詳細介紹

             TC-Wafer校準儀,是一款專(zhuān)注晶圓溫場(chǎng)均勻性測量的儀器。

            適配市場(chǎng)上大多數主流廠(chǎng)家生產(chǎn)的RTP設備。
            特殊情況可定制以適配。
             產(chǎn)品特點(diǎn)(部分)
            1.測溫準確 溫度偏差在±1.1℃以?xún)?、采集周期?00ms,能準確測量晶圓溫廠(chǎng)均勻性;
            2.使用便捷 儀器集成度高,即插即用。測試記錄完整數 據,并能自動(dòng)生成測試報告,
            支持U盤(pán)、藍牙、無(wú)線(xiàn)網(wǎng) 絡(luò )等多種方式導出數據和報告;
            3.顯示直觀(guān) 最多支持20路實(shí)時(shí)測量(20路以上可定制),顯示實(shí)時(shí)點(diǎn)位圖及溫度分布圖,
            可在使用過(guò)程中實(shí)時(shí)觀(guān)察各點(diǎn)溫度變化;
            4.功能強大 10000條歷史數據存儲量,能以圖表形式調閱歷史溫度和均勻性數據。
            可做同一臺設備不同時(shí)間段、以及不同設備同一配方的數據對比;
            5.便攜易維護 便攜一體化設計,配備磁吸支架可貼靠于RTP表面, Type-C接口
            65W速充,可迅速更換TC- wafer。
             TC-Wafer校準儀應用功能:
            1.半導體制造工藝調校
            2.RTP設備的測試、驗證
            3.TC-Wafer的測試、驗證
            4.相 關(guān) 晶 圓 熱 處 理 設 備 的 測 試 、 驗 證 , 如
            CVD,PVD,Photo,等等;

            5.使用范圍:室溫~ 1200℃(更高溫可定制)

             

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