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            當前位置:首頁(yè)   >  產(chǎn)品中心  >  勻膠機/勻膠旋涂?jì)x  >  SPIN系列  >  POLOS450SPIN勻膠機POLOS

            SPIN勻膠機POLOS

            簡(jiǎn)要描述:SPIN勻膠機POLOS450(英文名:Spin Coater)適合半導體硅片的勻膠鍍膜
            詳細介紹:勻膠機(英文名:Spin Coater& Spin Processor)
            行業(yè)俗稱(chēng):勻膠臺、勻膠機、旋涂?jì)x、涂膠機、鍍膜機、甩膠機

            • 產(chǎn)品型號:POLOS450
            • 廠(chǎng)商性質(zhì):代理商
            • 更新時(shí)間:2024-05-16
            • 訪(fǎng)  問(wèn)  量:3392

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            詳細介紹

            1、  SPIN勻膠機POLOS450勻膠機工作原理:

            勻膠機(spin coater)的工作原理是高速旋轉基片,利用離心力使滴在基片上的膠液均勻的涂在基片上,勻膠機常用于各種溶膠凝膠(Sol-Gel)實(shí)驗中的薄膜制作,厚度視不同膠液和基片間的粘滯系數而不同,也和旋轉速度及時(shí)間有關(guān)。

            2、SPIN勻膠機POLOS勻膠機型號及技術(shù)參數如下:

            型號

            SPIN150i

            SPIN200i

            POLOS300

            POLOS450

            POLOS600

            基片范圍

            直徑160mm or 4?方片

            直徑260mm or 6?方片

            直徑360mm or 8?方片

            直徑460mm or 350mm方片

            直徑600mm or 430mm方片

            程序段數

            無(wú)限制

            無(wú)限制

            無(wú)限制

            無(wú)限制

            30個(gè)程序

            操作步數

            無(wú)限制

            無(wú)限制

            無(wú)限制

            無(wú)限制

            90個(gè)步驟

            旋轉速度

            0-12,000 rpm ±1rpm steps

            0-12,000 rpm ±1rpm steps

            0-12,000 rpm ±1rpm steps

            0-1500rpm ±1rpm steps

            0-1,500 rpm ±1rpm steps

            旋轉精度

            ±0.1 rpm

            ±0.1 rpm

            ±0.1 rpm

            ±0.1 rpm

            ±0.1 rpm

            旋轉方向

            順時(shí)針、逆時(shí)針、交換擺

            順時(shí)針、逆時(shí)針、交換擺

            順時(shí)針、逆時(shí)針、交換擺

            順時(shí)針、逆時(shí)針、交換擺

            順時(shí)針、逆時(shí)針

            加速度

            30,000 rpm/sec

            30,000 rpm/sec

            30,000 rpm/sec

            1500rpm時(shí)取決于負載

            500 rpm/sec

            旋轉時(shí)間

            無(wú)限制*,± 0.1 seconds steps

            無(wú)限制*,± 0.1 seconds steps

            無(wú)限制*,± 0.1 seconds steps

            無(wú)限制*,± 0.1 seconds steps

            1 to 999 sec/step

            腔體直徑

            202 mm

            302 mm

            402 mm

            502 mm

            642mm

            外形尺寸

            (w*h*d )

            274 x 250 x 451 mm

            380 x 307 x 559mm

            430 x 310 x 650mm

            795 x 638 x 922mm

            800 x 1,450 x 1,650mm

            觸屏控制

            全彩觸屏控制

            全彩觸屏控制

            全彩觸屏控制

            全彩觸屏控制

            全彩觸屏控制

            設備重量

            14Kg

            20Kg

            32Kg

            75Kg

             

            電源參數

            220V,50/60 Hz

            220V,50/60 Hz

            220V,50/60 Hz

            220V,50/60 Hz

            220V,50/60 Hz

            三、勻膠機的特點(diǎn):

            1、該勻膠機采用德國*技術(shù):
            2、勻膠機采用NPP天然聚丙烯材質(zhì)構造設計,這種材質(zhì)有很好的抗腐蝕性和抗化學(xué)物性,美觀(guān)大方;
            3、勻膠機真空Chuck經(jīng)精密加工制成,具有良好的光潔度及平整度,保證晶圓片被很好地吸附,主軸采用進(jìn)口微型單列向心球軸承支撐,軸向有彈性墊及調整墊,可保障主軸具有較高的精度。
            4、在安裝結構上,采取了減振措施,保證了在運轉時(shí)噪音很低,保證涂覆表面均勻,保證通過(guò)調節轉速調節涂覆厚度。
            5、勻膠機腔體配備吹氮(N2)功能,或壓縮空氣、氮氣壓力可通過(guò)調壓閥和節流閥實(shí)現調節,與配套真空泵一同使用。

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